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環(huán)保冷卻液
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研磨液對硅片加工的發(fā)展前景
在微電子工藝中,從半導體單晶硅的拉制、加工到器件的制備,都會產生大量的應力;從硅棒的拉制、切片、磨片到后來的拋光,都伴隨著大量的機械加工過程及大量的熱量產生,從而在硅片中產生大量的機械應力和熱應力。
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2024
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環(huán)保冷卻液與傳統(tǒng)的冷卻液相比的優(yōu)勢
環(huán)保冷卻液,也被稱為環(huán)保防凍液,是一種專門用于冷卻系統(tǒng)的液體。它不僅可以防止冷卻系統(tǒng)結冰,而且還能有效地提高冷卻系統(tǒng)的散熱效率。與傳統(tǒng)的冷卻液相比,環(huán)保冷卻液更加環(huán)保,不會對環(huán)境造成污染。
硅片研磨和研磨液作用的分析
從全球經濟發(fā)展來看, IC 技術已經滲透到國 防建設和國民經濟發(fā)展的各個領域, 成為世界第 一大產業(yè)。IC 所用的材料主要是硅和砷化鎵等, 全球 90%以上 IC 都采用硅片 [1] 。隨著半導體工業(yè) 的飛速發(fā)展, 一方面, 為了增大芯片產量, 降低 單元制造成本, 要求硅片的直徑不斷增大; 另一 方面, 為了提高 IC 的集成度, 要求硅片的刻線寬 度越來越細
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