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研磨液對(duì)硅片加工的發(fā)展前景

研磨液對(duì)硅片加工的發(fā)展前景

在微電子工藝中，從半導(dǎo)體單晶硅的拉制、加工到器件的制備，都會(huì)產(chǎn)生大量的應(yīng)力;從硅棒的拉制、切片、磨片到后來(lái)的拋光，都伴隨著大量的機(jī)械加工過(guò)程及大量的熱量產(chǎn)生，從而在硅片中產(chǎn)生大量的機(jī)械應(yīng)力和熱應(yīng)力。

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環(huán)保冷卻液與傳統(tǒng)的冷卻液相比的優(yōu)勢(shì)

環(huán)保冷卻液與傳統(tǒng)的冷卻液相比的優(yōu)勢(shì)

環(huán)保冷卻液，也被稱為環(huán)保防凍液，是一種專門用于冷卻系統(tǒng)的液體。它不僅可以防止冷卻系統(tǒng)結(jié)冰，而且還能有效地提高冷卻系統(tǒng)的散熱效率。與傳統(tǒng)的冷卻液相比，環(huán)保冷卻液更加環(huán)保，不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染。

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硅片研磨和研磨液作用的分析

硅片研磨和研磨液作用的分析

從全球經(jīng)濟(jì)發(fā)展來(lái)看, IC 技術(shù)已經(jīng)滲透到國(guó) 防建設(shè)和國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的各個(gè)領(lǐng)域, 成為世界第一大產(chǎn)業(yè)。IC 所用的材料主要是硅和砷化鎵等, 全球 90%以上 IC 都采用硅片 [1] 。隨著半導(dǎo)體工業(yè) 的飛速發(fā)展, 一方面, 為了增大芯片產(chǎn)量, 降低單元制造成本, 要求硅片的直徑不斷增大; 另一方面, 為了提高 IC 的集成度, 要求硅片的刻線寬度越來(lái)越細(xì)

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